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主要设备
激光表切（陶瓷电感、晶圆全切、晶圆背切）	激光改质切割（滤光片、钽酸锂、碳化硅、硅）
刀轮切割	裂片（玻璃、钽酸锂、碳化硅）
固体激光剥离、准分子激光剥离	激光巨量转移
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